選擇優質的行星減速器材料将有助于提高齒輪減速器的承載能力和使用壽命。

根據精密減速機的結構特性和齒輪的負載特性，應廣泛使用淬硬齒輪。 淬火齒輪有很多熱處理方法。 如表面淬火，整體淬火，滲碳淬火，滲氮等，應根據齒輪減速器的特性進行選擇。

1、表面硬化

常見的表面淬火方法包括高頻淬火（用于小型齒輪）和火焰淬火（用于大型齒輪）。 當表面淬火的硬化層包括齒根的底部時，效果良好。

2、氮化

使用滲氮可以确保齒輪在小變形的條件下達到較高的齒表面硬度和耐磨性。 熱處理後，不再進行抛光，從而提高了承載能力。

3、滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有相對較大的承載能力，但是必須使用精加工（齒輪）來消除熱處理變形以确保精度。 滲碳和硬化齒輪通常用于滲碳前碳含量為0.2％-0.3％的合金鋼中。 牙齒表面的硬度通常在58-62HRC的範圍内。 如果低于57HRC，則硬表面強度顯着降低，而脆性在62HR下增加。滲碳淬火齒輪的硬度從齒輪表面到深層逐漸降低，有效滲碳深度規定為從表面到硬度的深度5.25HRC。